深圳市廣思科技有限公司 tTiger光腔痕量分析儀 黃生 18676706083

TigeropticsHALO OK利用Tiger Optics公司連續波長光腔衰蕩光

HALO OK痕量氧氣分析儀氣體與化學品煙氣排放能源半導體與LED 大氣實驗室與生命科學HALO OK 專為痕量氧氣分析而設計：

 業界領先的ppt級別的檢測能力

 空前的響應速度

 寬動態范圍

 絕對測量（無需校準氣體）

 很低的維護和極低的使用成本

 體積小，非常適合固定或移動推車安裝

 在多組分氣體中直接測量

超高純氣體用戶的首選

在您的工藝過程出現問題之前，先檢測出氣體質量

異常。使用Tiger Optics 的HALO OK 氧氣分析儀，

您可以以ppt 級別的精度、無漂移的穩定性和瞬時響應

來驗證氧氣濃度水平。您會發現我們的系統非常容易安

裝，快速便捷并且易于維護，內置零點驗證功能。其堅

固的設計-沒有活動部件-使分析儀的平均故障間隔時間

提高，使用和維護成本極低。

HALO OK 氧氣分析儀憑借其專利的催化轉化技術，

通過微量的氫氣將氧氣清潔安全的轉化為水分，利用基

于激光的測量方法，可對您的工藝進行連續質量控制。

基于強大的光腔衰蕩光譜技術，HALO OK 符合用于氣

體系統水分干燥表征的SEMI F-112 標準。將HALO

OK 氧氣分析儀與ppt 級HALO KA 水分分析儀聯合使

用，同時對兩種關鍵污染物進行分析，您將充分體會到

我們光腔衰蕩光譜技術（CRDS）的諸多優勢。

HALO OK

痕量氧氣分析儀

性能外型尺寸高x 寬 x 深[（mm）]

工作范圍見下表標準分析儀8.73x19.0x23.6 (222x483x599)

檢出限（LDL，3σ/ 24h） 見下表

精確度（1σ，取大者） ±0.75％或LDL 的1/3 重量

準確度（取大者） ±4％或LDL 標準分析儀45 lbs（20.4 kg）

響應速度<3 分鐘至95％

環境條件10℃至40℃ 電路

相對濕度30％至80％（無凝液） 報警指示燈2 個用戶可編程

貯存溫度-10℃至50℃ 1 個系統故障

C 型繼電器

氣體處理系統和條件電源要求100−240 VAC，50/60 Hz

材料316L 不銹鋼功率最大450 W

10 Ra 表面光潔度信號輸出4-20 mA 隔離

泄漏測試1 x 10-9mbar l /s 用戶界面5.7 英寸液晶觸摸屏

氣體連接1/4”VCR 公頭10/100 Base-T 以太網

氣體入口壓力10-125 psig（1.7-9.6 bara） 802.11g 無線（選配）

氣體流速0.5 至1.8 slpm（取決于氣體） RS-232

樣氣多數惰性氣體Modbus TCP（選配）

氣體溫度最高60℃ 認證CE MARK

氫氣供應要求*,† 〜15 sccm，20−12 psig

氧氣分析性能測量范圍檢測極限‡(3σ) 零點精確度(1σ)

在氦氣中0-0.5 ppm 50 ppt 17 ppt

在氬氣中0-1 ppm 90 ppt 30 ppt

在氫氣中0-2 ppm 150 ppt 50 ppt

在氮氣中0-2.5 ppm 200 ppt 70 ppt

在二氧化碳中§ 0-5 ppm 5000 ppt 300 ppt

如需測量其他分子或其他樣氣的信息或了解可選的吹掃機箱的信息，請聯系我們。

* 氫氣供應（最大10 ppm 水和氧氣雜質）需要通過催化轉化進行樣氣處理。

†為提高安全性，可以使用3％氫氣/97％氮氣的混合物替代純氫氣。此選項需要特殊的配置，必須在訂購時澄清。

‡LDL 取決于樣氣的質量和采樣系統的配置。

§需要特殊配置，必須在訂購時澄清。